Дек 31

В настоящий момент у нанотехнологии остро ощущается нехватка инструментов для эффективного построения и измерения наноструктур. Для решения этих задач требуются механические системы, оперирующие в диапазоне нескольких миллиметров с субнанометрической точностью.Совсем недавно французы разработали систему 2D нанопозиционирования, которая может удовлетворять указанным требованиям. Кроме того, новый инструмент, основанный на интерференционном датчике и оптоэлектронике, может применяться также в стандартных атомных микроскопах и литографии.

Многие современные инструменты работают в миллиметровом диапазоне с нано разрешением, но их воспроизводимость и точность по-прежнему превышают десятки нанометров по причине собственных механических дефектов, а лучшее на данный момент устройство имеет точность около 100 нм.

Эта проблема в скором будущем может стать очень серьезным препятствием в развитии нанотехнологий.

Новый прибор, разработанный Luc Chassagne и коллегами, позволяет манипулятору работать с нанометрической точностью. Этот инструмент использует оптикоэлектронику для управления положением перемещающегося зеркала с субнанометрической градацией. Эта информация определяется из сравнения фаз лучей, входящих и исходящих из интерферометра.

И наконец движение обеспечивают двухступенчатые приводы для осей X и Y. Первая ступень – линейные двигатели с диапазоном 50 мм и шагом 10 нм. Вторая ступень –  пьезоэлектрические приводы с диапазоном 15 мкм и субнанометрическим шагом. Вторая ступень позволяет компенсировать ошибки первых двигателей в реальном времени.

Исследователи заявляют, что их система будет полезна для производства всех видов наноструктур.

Rambler's Top100